1、亂流式(Turbulent Flow):
空氣由空調箱經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于無塵室等級為1,000-100,000級的。
優點:構造簡單、系統建造成本低,無塵室擴充比較容易,在某些特殊用途場所可并用無塵工作臺,提高無塵車間等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達要求的潔凈度,需耗時相當長一段時間。
2、層流式(Laminar):
層流式空氣氣流運動成均勻的直線形,空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于無塵室等級需求較高的環境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100。
其型式可分為二種:
?無塵車間水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁的回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般下流側污染較嚴重。
優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變穩定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
?無塵車間垂直層流式:房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可獲得較高的潔凈度,在生產中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外并不會影響其它工作區域。
優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易受作業狀態或作業人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板的吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
3、復合式
復合式是將亂流式及層流式予以復合并用,可提供局部超潔凈空氣。
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